Page 10 - 2025 TSIA年刊

台灣荏原精密股份有限公司，係日商荏原製作所轄下精密 電子事業群在台灣設立的子公司，成立於 1997 年 9 月 深耕迄今。 日商荏原集團轄下精密電子事業群擁有尖端化學 機械研磨、真空領域的領先技術，支援台灣 半導體製造業及面板產業等客戶，提供 高品質的生產設備、技術支援及維修 服務據點。 Portable Air Cooled Dry Vacuum Pump Model EV-PA 可攜式空冷乾式真空幫浦 EV-PA型 Clean exhaust is possible with no oil backflow, and maintenance is free as there is no need for regular replacement of tip seals or oil. EBARA CORPORATION Precision Machinery Company 荏原史上最高的生產效率 The highest productivity in EBARA's history